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J-GLOBAL ID：201102273986321400   整理番号：11A0309182

集積構造の高性能超小型単結晶シリコンマイクロフォン

High-performance ultra-small single crystalline silicon microphone of an integrated structure

著者 (8件)： TAJIMA T ,  NISHIGUCHI T ,  CHIBA S ,  MORITA A ,  ABE M ,  TANIOKA K ,  SAITO N ,  ESASHI M
資料名： MICROELECTRONIC ENGINEERING
巻： 67-8  ページ： 508-519  発行年： 2003年 
JST資料番号： O4682A  ISSN： 0167-9317  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集積 ,  高性能 ,  単結晶シリコン ,  マイクロフォン