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J-GLOBAL ID：201102274465047944   整理番号：11A0142759

窒素中で超低摩擦を発現するCNx膜の極表面層の機械的特性の評価

Evaluation of Mechanical Properties of the Superficial Layer of CNx with Ultra Low Friction in N₂ Gas

著者 (4件)： 木村徳博 (東邦ガス) ,  月山陽介 (名古屋大 工) ,  野老山貴行 (名古屋大 工) ,  梅原徳次 (名古屋大 工)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 76  号： 772  ページ： 3794-3799  発行年： 2010年12月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 窒化炭素(CNx)膜は,窒素雰囲気中で摩擦係数μ<0.009の超低摩擦を発現することが報告されている材料である。この超低摩擦発現メカニズムとして,繰り返し摩擦により極表面層が構造変化し,グラファイトのような層となっていることが判明している。しかし,その構造変化層が実際に低せん断であることは示されていない。そのため,本論文ではAFMを用いて表面をスクラッチすることにより,構造変化をしたと考えられるCNx膜の極表面層の機械的特性を実験的に明らかにした。元のCNx表面と比べ,極表面層の硬さおよびせん断抵抗はそれぞれ約1/10および約1/2に減少しており,極表面層が軟質化し,低せん断な層へと構造変化していることが明らかとなった。(著者抄録)

シソーラス用語： *炭素化合物 ,  *窒化物 ,  抵抗 ,  摩擦係数 ,  原子間力顕微鏡 ,  表層構造 ,  引かき試験 ,  *潤滑膜 ,  機械的性質 ,  トライボロジー ,  グラファイト
準シソーラス用語： *窒化炭素 ,  表面層構造 ,  剪断抵抗

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (12件)：

• LIU, A. Y. Prediction of New Low Compressibility Solids. Science. 1989, 245, 841-842
• LIU, A. Y. Structural properties and electronic structure of low-compressibility materials : β-Si_3N_4 and hypothetical βC_3N_4. Physical Review B. 1990, 41, 10727-10734
• UMEHARA, N. Tribological Properties of Carbon Nitride Coating by Ion Beam Assisted Deposition. Proceedings of International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, 1998. 1998, 151
• UMEHARA, N. Nitrogen Lubricated Sliding between CN_x Coatings and Ceramic Balls. Proceedings of the International Tribology Conference Nagasaki, 2000. 2000, 1007-1012
• TOKOROYAMA, T. Effect of nitrogen atoms desorption on the friction of the CN_x coating against Si_3N_4 ball in nitrogen gas. Tribology letters. 2006, 22, 215-220

タイトルに関連する用語 (7件)： 窒素 ,  超低摩擦 ,  発現 ,  極 ,  表面層 ,  機械的特性 ,  評価