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J-GLOBAL ID：201102274503321249   整理番号：11A0134197

電子顕微鏡による炭化ケイ素素材評価技術の研究

著者 (3件)： 一色俊之 (京都工繊大) ,  松浪徹 (エコトロン) ,  浜田信吉 (エコトロン)
資料名： 京都工芸繊維大学創造連携センター年報
巻： 2009  ページ： 58-59  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： L2747D  資料種別： 年次報告 (Y)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： リターディング(減速電場印加)法による超低照射電圧観察機能を備え,二次電子,反射電子などの信号検出機構をもつ電界放射型走査電子顕微鏡(FE-SEM)を用いた結果,炭化ケイ素(SiC)のサブミクロンサイズの結晶欠陥構造(転位,積層欠陥など)を迅速に可視化することができた。溶融塩(溶融KOH)エッチングによって,サブミクロンサイズの結晶欠陥を極微小エッチピット化した。このとき,低温,処理時間を制御することでエッチング進行を抑制させた。その結果,適切な信号検出を選択することによって,10nmの分解能で欠陥を明瞭に観察でき,その空間分解能は透過型電子顕微鏡(TEM)の回折コントラストに匹敵した。すなわち,煩雑なTEM試料加工を行う必要もなく,本手法は,有効な結晶欠陥評価手法であることが分かった。

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  *走査電子顕微鏡 ,  *格子欠陥 ,  エッチピット ,  *エッチング ,  *分解能 ,  *顕微鏡観察 ,  可視化 ,  転位【結晶】 ,  積層欠陥 ,  *融解塩
準シソーラス用語： *電界放射型走査電子顕微鏡

分類 (1件)： その他の無機化合物の結晶構造  (BK07030J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子顕微鏡 ,  炭化ケイ素 ,  素材 ,  評価 ,  研究