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J-GLOBAL ID:201102274545649201   整理番号:11A1138442

格子の回折性質に関する結合波解析,数値計算と検討

Coupled-wave Analysis, Numerical Calculation and Discussion for Diffraction Properties of Grating
著者 (3件):
資料名:
巻: 37  号:ページ: 141-146  発行年: 2010年 
JST資料番号: C2092A  ISSN: 1003-501X  CODEN: GUGOEC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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ベクトル理論解析に基く正確な結合波解析方式をMaxwell方程式と電磁気学境界条件を使用して導き出し検討した。正確な結合波解析(RCWA)に基く一般的回折解析数値コードを格子の回折性質を設計し分析するために書き,RCWAの回折効率と収束をTEモードのために調査した。計算した回折効率は非常に深い格子(d/λ>10)を初め幅広い範囲のパラメータの空間調和の増加数により正しい値に収束するために示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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