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J-GLOBAL ID：201102275174992761   整理番号：11A0102330

Ti-TiNの2層バリアをもつオーバーダンプ型NbTiNジョセフソン接合の作製

Preparation of overdamped NbTiN Josephson junctions with bilayered Ti-TiN barriers

著者 (3件)： YAMAMORI Hirotake (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, JPN) ,  SASAKI Hitoshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, JPN) ,  KOHJIRO Satoshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 108  号： 11  ページ： 113904  発行年： 2010年12月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 応力の小さい多結晶NbTiN膜をスパッタ法を用いて作製した。また,度量衝学への応用のため,Ti-TiNの2層バリアをもつオーバーダンプ型NbTiNジョセフソン接合を提案した。量子電圧標準のために32768個のNbTiN/Ti-TiN/NbTiN接合の2次元配列を作製し,8K近傍で約0.5mAのステップ高さをもつシャピロステップを1Vで発生させた。Ti層はTiNを堆積中にチッソプラズマからNbTiN電極を保護するために使用した。臨界電流I_cおよび接合抵抗R_nは主としてTiNバリア厚さで支配され,I_cは電圧標準回路の動作マージンを最大にするためにTiバリア厚さを変えることでも調整することができた。このような多くの接合を含む回路を作製するため,NbTiN膜の応力の最適化についても記述した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *Josephson接合 ,  スパッタ蒸着 ,  チタン ,  *窒化物 ,  *チタン化合物 ,  多結晶 ,  *ニオブ化合物 ,  *被覆層 ,  電極 ,  保護膜 ,  膜厚 ,  応力 ,  最適化 ,  *膜電極
準シソーラス用語： *障壁層

分類 (1件)： Josephson接合・素子  (BM04043E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 2層 ,  バリア ,  ジョセフソン接合 ,  作製