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J-GLOBAL ID：201102275531380010   整理番号：11A0519766

気体マイクロ流体デバイスの流れコンダクタンスを決定する高速法

A Fast Method for Determining the Flow Conductance of Gas Microfluidic Devices

著者 (2件)： MARTINELLI Matteo (Politecnico di Torino, Torino, ITA) ,  VIKTOROV Vladimir (Politecnico di Torino, Torino, ITA)
資料名： Journal of Fluids Engineering  (Journal of Fluids Engineering)
巻： 132  号： 12  ページ： 121401.1-121401.6  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： C0997A  ISSN： 0098-2202  CODEN： JFEGA4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Reynolds数0.3に相当する30Paからスタートして低流量で,非常に小さな圧力降下を伴うガスマイクロ流体デバイスのコンダクタンスを決定する高速の方法を提案した。ガスマイクロ流体デバイスでのガスのコンダクタンスは,ガス流量と回路を通した圧力差との関係を意味するが,実際に推定するのはガス流量の測定が難しく,非常に時間がかかる。提案した方法は,マイクロ流体デバイスを通したガス加圧チャンバのディスチャージに基づいたもので,ディスチャージ過程での上流圧力の記録とガス圧力の時間微分を計算することで,マイクロ流体装置のコンダクタンスは入口圧力および流れのReynolds数の関数として推定される。実験の結果,十分に正確な等温ディスチャージ過程を,上流-下流圧力比が0.8までの範囲で達成できた。この方法は,実行するのに必要な時間がほんの数秒間という高速性を持っている。

シソーラス用語： マイクロマシニング ,  *流体素子 ,  気体流 ,  *コンダクタンス ,  方式 ,  Reynolds数 ,  流量 ,  *マイクロ流体デバイス
準シソーラス用語： 推定法

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 気体 ,  マイクロ流体デバイス ,  流れ ,  コンダクタンス