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J-GLOBAL ID：201102275623281344   整理番号：11A0171926

浸漬/取出しセルを用いるけい素ウエハのフォームベース洗浄におけるメニスカス-せん断粒子はく離

Comparison of the Corrosion Inhibitive Effect of Anaerobic and Aerobic Cigarette Butts Water Extracts on N80 Steel at 90°C in Hydrochloric Acid Solution

著者 (6件)： ZHAO Jun (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHANG Ningsheng (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHANG Ningsheng (Tubular Goods Res. Center of CNPC, Xi’an, CHN) ,  QU Chengtun (Tubular Goods Res. Center of CNPC, Xi’an, CHN) ,  ZHANG Juantao (Xi’an Shiyou Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHANG Xiang (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
資料名： Industrial & Engineering Chemistry Research  (Industrial & Engineering Chemistry Research)
巻： 49  号： 24  ページ： 12452-12460  発行年： 2010年12月15日 
JST資料番号： C0385C  ISSN： 0888-5885  CODEN： IECRED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 繰り返し出し浸漬/取出しセルを用いるけい素ウエハのフォームベース洗浄におけるメニスカス-せん断粒子はく離を種々のフォーム品質において調べた。せん断が粒子除去にとって重要なので浸漬/取出しセルにおけるウエハ表面にそってのせん断分布を調べた。200mm径のケイ素ウエハを用い,窒化ケイ素汚染粒子をスピンコーティングした。洗浄液としてサポニン化アンモニウムベース脂肪酸固体の水性懸濁液を用いた。その結果,次のことが分かった。1)浸漬/取出しセルにおける非フォーム固体懸濁液に対して汚染粒子除去はウエハによって均一で気泡の導入は良好な洗浄が得られるが不均一な洗浄となる,2)非フォーム懸濁液において壁せん断速度が狭いメニスカス領域に集中し洗浄はこの狭い流域においてのみで起こる,3)フォームの導入はせん断速度が大きくなるのでセル全体における洗浄を増加させる。

シソーラス用語： 浸漬 ,  *ウエハ【IC】 ,  メニスカス ,  *洗浄 ,  剪断 ,  窒化ケイ素 ,  懸濁液
準シソーラス用語： *ケイ素ウエハ

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (9件)： 浸漬 ,  取出し ,  セル ,  けい素ウエハ ,  フォーム ,  洗浄 ,  メニスカス ,  せん断 ,  はく離