文献

J-GLOBAL ID：201102278547186964   整理番号：11A1751506

酸化および焼きなまし工程 FeCo-AlO_xNOLスペーサのあるスピンバルブの形態学的変化とナノ接触MR

Oxidation and Annealing Process: Morphological Change and Nanocontact MR in Spin Valves With FeCo-AlO_x NOL Spacer

著者 (6件)： SHIOKAWA Yohei (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SHIOTA Megumi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WATANABE Yoshiyuki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OTSUKA Takahiko (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  DOI Masaaki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SAHASHI Masashi (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 47  号： 10  ページ： 3470-3473  発行年： 2011年10月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： その場導電性原子間力顕微鏡(c-AFM)を通じてAlO_xナノ酸化物薄膜層の1~2nm直径の周りの強磁性ナノ接触(NCs)の形成機構を研究した。イオン支援酸化(IAO)工程で生じる形態学的変化を調べ,ナノ酸化物層(NOL)のNCsの形成機構に焦点を合わせた。次に,浄化形成機構に基づいて高温焼きなまし工程の影響を分析した。Al蒸着1.3nmの最適厚みでAlの凝集性と酸化過程によるAlO_x粒子間の谷間にNCsを形成した。高温焼きなまし工程はAlO_xの形態学的変化を伴い,不純物として酸素と結合することによりNCsのAl原子をAlO_xに移動させる。

シソーラス用語： 酸化 ,  焼なまし ,  鉄合金 ,  コバルト合金 ,  酸化アルミニウム ,  酸化膜 ,  点接触 ,  ナノ構造 ,  スペーサ ,  変化 ,  *磁気抵抗 ,  *強磁性体 ,  磁気記録 ,  原子間力顕微鏡 ,  *素子構造 ,  *磁気抵抗効果 ,  ナノ接触 ,  *スピンバルブ ,  化成皮膜 ,  記録
準シソーラス用語： 形態学的変化

分類 (2件)： 金属の電子伝導一般  (BM03031E) ,  金属結晶の磁性  (BM06040T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸化 ,  焼きなまし工程 ,  スペーサ ,  スピンバルブ ,  形態学 ,  ナノ接触 ,  MR