容量型の超小型電子機械システム(MEMS)加速度計の構造と作動原理により,高圧銃の弾道検査のために使用した高gMEMS加速度計の動的応答解析を提示した。加速度計の弾性要素の力学モデルと数学モデルを構築した。弾性要素の固有振動数とダイナミック応答曲線を数値計算によって得た。実績は,MEMS加速度計の動的応答が弾性要素の自由振動数に密接に関連するのを示し,MEMS加速度計は,望ましい動的応答特性を持つ。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST