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J-GLOBAL ID：201102279714211212   整理番号：11A0309410

無電解析出によるSi(111)面の傷に沿ったCo-ドット配列構造

Co-dot-array formation along scratches on Si(111) surface by electroless deposition

著者 (4件)： KIM C ,  OIKAWA Y ,  SHIN J ,  OZAKI H
資料名： MICROELECTRONICS JOURNAL
巻： 34  号： 5-8  ページ： 607-609  発行年： 2003年 
JST資料番号： O4683A  ISSN： 0026-2692  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： 無電解析出 ,  Si ,  傷 ,  CO ,  ドット