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J-GLOBAL ID：201102282071430567   整理番号：11A1331027

調整した金属アルコキシド前駆体溶液を用いた高度に配向した(K,Na)NbO₃薄膜のプロセッシング

Processing of highly oriented (K,Na)NbO₃ thin films using a tailored metal-alkoxide precursor solution

著者 (3件)： NAKASHIMA Yoshifumi (Div. of Nanomaterials Sci., EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  SAKAMOTO Wataru (Div. of Nanomaterials Sci., EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  YOGO Toshinobu (Div. of Nanomaterials Sci., EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
資料名： Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)
巻： 31  号： 14  ページ： 2497-2503  発行年： 2011年11月 
JST資料番号： E0801B  ISSN： 0955-2219  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高度に配向した無鉛K_0.5Na_0.5NbO₃(KNN)薄膜を化学溶液析出により合成した。KNN前駆体溶液の分析からKNN前駆体は高度に対称的なNb-O八面体を示すカリウムとナトリウムヘキサアルコキシニオブ酸塩の複雑な金属アルコキシドから成ることを明らかにした。KNN前駆体膜は650°CでPt(100)/MgO(100)基板に(100)優先配向したペロブスカイト相に結晶化した。KNN(100)とPt(100)/MgO(100)との三次元的な関係が極点図の4回対称で確かめられた。4回対称は合成した膜がPt(100)表面のcとa,b方向に配向することを示した。絶縁抵抗は室温で十分に高くはないが,(100)配向したKNN薄膜は配向していないKNN薄膜に比べて低温でより大きな分極を示した。配向したKNN膜の-190°Cでの2P_rと2E_cは各々41.0μC/cm²と90kV/cmであった。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *カリウム化合物 ,  *ナトリウム化合物 ,  *ニオブ酸塩 ,  *誘電体薄膜 ,  材料 ,  溶液成長 ,  酸化マグネシウム ,  白金めっき ,  ペロブスカイト型結晶 ,  ウエハ【IC】 ,  白金 ,  チタン ,  多層膜 ,  絶縁抵抗 ,  漏れ電流 ,  分極 ,  結晶方位 ,  優先配向 ,  二酸化ケイ素 ,  シリコンウエハ ,  *ニオブ酸ナトリウムカリウム
準シソーラス用語： シリカ ,  ケイ素基板 ,  *ニオブ酸カリウムナトリウム ,  化学溶液析出 ,  無鉛材料

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (3件)： カリウムエトキシド ,  ナトリウムエトキシド ,  ニオブ(V)ペンタエトキシド

タイトルに関連する用語 (7件)： 金属アルコキシド ,  前駆体 ,  溶液 ,  配向 ,  Na ,  薄膜 ,  プロセッシング