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J-GLOBAL ID：201102282822152878   整理番号：11A0340674

シリンダーの内部表面へのイオン注入

Ion implantation to inner surface of a cylinder

著者 (2件)： MASAMUNE S ,  YUKIMURA K
資料名： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
巻： 206  ページ： 682-686  発行年： 2003年 
JST資料番号： O5033A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： シリンダー ,  内部表面 ,  イオン注入