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J-GLOBAL ID：201102282902177332   整理番号：11A0111546

インプルームNd:YAG-PLD法によるIBAD-MgO基板上へのYBa₂C₃O_y膜作製

著者 (7件)： 小野郁朗 (名古屋大) ,  一野祐亮 (名古屋大) ,  吉田隆 (名古屋大) ,  高井吉明 (名古屋大) ,  吉積正晃 (ISTERA) ,  和泉輝郎 (ISTERA) ,  塩原融 (ISTERA)
資料名： 低温工学・超電導学会講演概要集  (低温工学・超電導学会研究発表会講演概要集)
巻： 83rd  ページ： 16  発行年： 2010年12月01日 
JST資料番号： G0564B  ISSN： 0919-5998  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Nd:YAGレーザーは初期コスト,ランニングコストが安価なため,工業応用に有利である。また,今後,超伝導線材の実用化では,省資源・高速での線材作製も重要となってくることが予想される。本報告では試料作製における収率の向上を目的とし,その方法としてインプルーム法を用いてYBCO膜の作製を行った。YBCO膜はNd:YAG-PLD法を用いて10mm²のIBAD-MgO基板上に作製し,ターゲット-基板間距離(d_t-s),酸素圧力(P_o2)に対して,超伝導特性及び収率を評価した。なお,膜厚は全て400nmとした。これまで我々のグループで得られている最適条件d_t-s=40mm,P_o2=40Paで作製したYBCO膜の収率が7.69%であったのに対し,d_t-s=20mm,P_o2=200Paで作製した試料の収率は18.96%を示した。また,XRDの結果から作製した全ての試料は,良好な2軸配向であることが確認できた。作製した試料のT_c,J_cはYBCO膜の中央で80.1K,0.13MA/cm²で,端部では88.3K,1.81MA/cm²であった。また,端部の成膜レートは中央に比べ1/5であり,超伝導特性および膜厚が不均一であった。この問題を解決するためにターゲット法線を鉛直方向に対して傾けることでプルームを歳差運動させた。これにより,T_c,J_cはそれぞれ端部・中央共に86.8K,1.62MA/cm²程度を示し,端部の成膜レートは線材中央に比べ2/3まで向上し,超伝導特性と膜厚の均一性が向上した。しかし,この値は最適条件でのTc=89.7K,Jc=2.07MA/cm²と比べ低い。今後,T_c,J_cの向上のため,組成の最適化などを検討する予定である。(著者抄録)

シソーラス用語： *プルーム ,  *Nd-YAGレーザ ,  *イオンビーム蒸着 ,  酸化マグネシウム ,  基板 ,  *YBCO薄膜 ,  収率 ,  X線回折 ,  均一性 ,  歳差運動 ,  レーザ蒸着 ,  超伝導 ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： *PLD法 ,  *配向性

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I)

タイトルに関連する用語 (6件)： Nd ,  YAG ,  PLD法 ,  IBAD ,  MgO ,  作製