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J-GLOBAL ID：201102283576256592   整理番号：11A0551662

最新の光学形状計測と産業への応用 ポイントオートフォーカス法による光学素子の表面形状測定

著者 (1件)： 三浦勝弘 (三鷹光器)
資料名： 計測と制御  (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 50  号： 2  ページ： 138-142  発行年： 2011年02月10日 
JST資料番号： F0131A  ISSN： 0453-4662  CODEN： KESEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学素子の部品にはサブμm~数十nmのレベルの形状誤差が要求され,精密な形状測定器が必須となっている。これらの測定には一般的に低触圧の接触式輪郭形状測定機が用いられているが,小型・高精度化が求められる近年,非接触測定の要求が増している。「ポイントオートフォーカス法」は非球面レンズ形状を容易かつ高精度に想定できる非接触の測定法として利用されている。また,傾斜面やエッジ部を高精度で測定できるため,光学素子の形状測定に有効である。レーザを用いたポイントオートフォーカス法としてナイフェッジ法や臨界角法などが提案されている。いずれもレーザスポットをワーク表面に照射し,合焦位置を検出してその点の座標値を取得する方法である。本稿では,対物レンズの端からレーザ光を照射して高いS/Nを得ることによりナノメータレベルの高精度フォーカス再現性を実現できる「ビームオフセット法」について紹介した。

シソーラス用語： *形状測定 ,  *光学的測定 ,  実用化 ,  点 ,  *焦点合せ ,  *光学素子 ,  *非球面レンズ ,  レーザビーム ,  オフセット ,  非接触測定
準シソーラス用語： *オートフォーカス ,  *ビームオフセット法 ,  *ポイント ,  レーザ光 ,  形状計測 ,  光学測定 ,  *産業応用 ,  *表面形状 ,  マイクロレンズアレイ

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

引用文献 (6件)：

• LEACH, R. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology. 2010, 139
• (社) 精密工学会 超精密位置決め専門委員会. 次世代精密位置決め技術. 606
• 三浦勝弘. 最新回折光学素子技術全集. 166
• 三浦勝弘. 実用精密位置決め技術事典. 597
• (株) 技術情報協会. マイクロレンズ(アレイ)の超精密加工と量産化技術. 第3章

タイトルに関連する用語 (8件)： 光学 ,  形状計測 ,  産業 ,  応用 ,  ポイント ,  オートフォーカス ,  光学素子 ,  表面形状測定