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J-GLOBAL ID：201102283885503880   整理番号：11A2008083

半導体製造装置向け機器免震装置(TASSユニット)の開発と適用 2011東北地方太平洋沖地震における効果の実証

Development and Application of Seismic Isolation System (TASS Unit) for Semiconductor Fabricating Facilities: Effectiveness of Isolation as Observed in the 2011 off the Pacific Coast of Tohoku Earthquake

著者 (5件)： 日比野浩 (大成建設) ,  青野翔 (大成建設) ,  長島一郎 (大成建設) ,  出雲洋治 (大成建設) ,  小野森司 (大成建設)
資料名： 大成建設技術センター報(CD-ROM)  (Report of Taise Technology Center (CD-ROM))
号： 44  ページ： ROMBUNNO.06  発行年： 2011年12月01日 
JST資料番号： G0744B  ISSN： 1348-3366  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 昨今多発する製造施設等の地震被害において,建物被害だけでなく建物内部の製造装置あるいは設備機器が損傷し,長期の操業停止に至るほどの多大な損害を受けるケースが見受けられる。BCPの観点から既存の製造施設の耐震性が見直される機会が増えており,製造装置への地震対策が急務となっている。このような背景から,著者らは縦型拡散炉などの半導体製造装置に後付けで設置できる,機器免震装置TASSユニットを開発した。ユニットに半導体製造装置実機を設置して振動台実験を行った結果,製造装置加速度および免震装置変位は設計クライテリアを満足するとともに,製造装置本体及び内部各部において損傷のないことを確認した。また,2011東北地方太平洋沖地震(M9.0)において半導体製造工場内の拡散炉に実装されているTASSユニットについて,免震が機能したことと装置内部の部品が完全に保護されていることが確認された。(著者抄録)

シソーラス用語： *免震装置 ,  装置 ,  振動台試験 ,  効果 ,  大地震 ,  ローラ支点
準シソーラス用語： ローラ支承 ,  機器免震装置 ,  振動台実験 ,  東北地方太平洋沖地震 ,  半導体製造装置 ,  免震効果

分類 (2件)： 建築物の耐震,免震,制震,防振  (RB01035P) ,  振動伝搬  (BB02040K)

引用文献 (3件)：

• 1)田中真弥他:既存導体製造施般向け機器免震襲置の開発その1-2,円本建築学会大会学術講演梗概購,pp.629~632,2009,
• 2)田中真弥他:既存半導体製造施設向け機器免震装置の開発,大成趣設技術センター報,pp.33-1~33-5,2009.
• 3)日本建築センター免震構造評定委員会:免震構造建築物の評定用資料の作成方法とその解説について,ビルディングレター,pp.55~66,1996.

タイトルに関連する用語 (5件)： 半導体製造装置 ,  免震装置 ,  開発 ,  東北地方太平洋沖地震 ,  実証