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J-GLOBAL ID：201102285510842965   整理番号：11A0565966

非対称型ギャップ付きの片持梁を基礎にした微細加工ピエゾ抵抗式加速度計

Micromachined Piezoresistive Accelerometers Based on an Asymmetrically Gapped Cantilever

著者 (4件)： LI Yuefa (Wayne State Univ., MI, USA) ,  ZHENG Qinglong (Wayne State Univ., MI, USA) ,  HU Yating (Wayne State Univ., MI, USA) ,  XU Yong (Wayne State Univ., MI, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 20  号： 1  ページ： 83-94  発行年： 2011年02月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非対称ギャップ片持梁は感度を効果的に向上し,ピエゾ抵抗層歪みに効果的に役立つ機械エネルギーの多くが得られる。この非対称ギャップ片持梁に関する解析モデルを導出し,有限要素シミュレーションにより検証した。最適設計法を検討した。S/N比と共振周波数の積の値で性能指数を定義した。エネルギー効率が設計最適化の決定的な判定基準となる。SOIウエハの前後の両面からの深いRIE処理により,このピエゾ抵抗式加速度計のプロトタイプをつくり,予備的に特性評価した。0.36mV/V/gの感度と,4060Hzの基本共振周波数が得られた。発生する雑音を測定し解析した。この非対称ギャップ片持梁構造は原子間力顕微鏡,力顕微鏡,環境振動エネルギーハーベストなどに利用が期待できる。

シソーラス用語： 非対称性 ,  片持梁 ,  間隙 ,  素子構造 ,  *マイクロマシン ,  *加速度計 ,  *圧抵抗効果 ,  最適設計 ,  SOI構造 ,  速度センサ

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 対称型 ,  ギャップ ,  片持梁 ,  基礎 ,  微細加工 ,  ピエゾ抵抗 ,  加速度計