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J-GLOBAL ID：201102286192515956   整理番号：11A1431671

工具鋼のスパッタエッチングによって形成した微細突起物の光反射特性

Reflection Characteristics of Fine Protrusions Formed by Sputter Etching of Tool Steels

著者 (4件)： 中佐啓治郎 (広島国際学院大学工学部総合工学科) ,  加藤昌彦 (広島大学大学院工学研究科機械物理工学専攻) ,  久保隆 (広島国際学院大学工学部総合工学科) ,  山本旭宏 (株式会社ヤマトメック研究開発室)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 75  号： 9  ページ： 502-508 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高速度鋼SKH51および合金工具鋼SKD5,SKD61板状試験片表面を,アルゴンイオンを用いてスパッタエッチングし,表面に微細な柱状あるいは円錐状突起物を形成させた。可視光線に対する反射率を調べた。これらの突起物をもつ表面の反射率は,簡易型分光色差計による測定では3~5.5%であった。また,紫外・可視・近赤外分散型分光光度計を用いて測定したSKH51試料(スパッタ電力200W,スパッタ時間10.8ks)の絶対反射率は,波長に依存せず約0.3%であり,入射角度が60°までは同じであった。スパッタエッチングにより形成される高密度の微細突起物をもつ工具鋼表面は,製造コストが低く機械的特性に優れた低反射(高光吸収)表面として利用できる可能性がある。

シソーラス用語： *表面処理 ,  イオンエッチング ,  アルゴン ,  スパッタリング ,  *工具鋼 ,  高速度鋼 ,  高合金鋼 ,  高炭素合金鋼 ,  中炭素合金鋼 ,  表面構造 ,  *光学的性質 ,  光反射 ,  反射率 ,  光吸収 ,  可視光 ,  突起部 ,  分光光度計 ,  マグネトロンスパッタリング ,  走査電子顕微鏡 ,  入射角 ,  角度依存性 ,  SKH51 ,  SKD61 ,  表面形態 ,  構造
準シソーラス用語： SKD5

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  その他の物理的・機械的性質  (WB02040F)

引用文献 (39件)：

• 1) W. Chen and H. Ahmed: Appl. Phy. Lett. 63(1993) 1116-1118.
• 2) A. G. Nassiopoulos, S. Grigoropoulos and D. Papadimitriou: Appl. Phy. Lett. 69(1996) 2267-2269.
• 3) V. V. Poborchii, T. Tada and T. Kanayama: Appl. Phy. Lett. 75(1999) 3276-3278.
• 4) L. W. Rangelow and St. Biehl: J. Vac. Sci. Technol. B 19(2001) 916-919.
• 5) K. Seeger and R. E. Palmer: Appl. Phy. Lett. 74(1999) 1627-1629.

タイトルに関連する用語 (3件)： 工具鋼 ,  スパッタエッチング ,  反射特性