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J-GLOBAL ID：201102286317913460   整理番号：11A0571211

キャスト成長した多結晶シリコン中の窒素の析出

著者 (4件)： 小野春彦 (神奈川県産技セ) ,  加藤千尋 (神奈川県産技セ) ,  石塚貴英 (明治大 理工) ,  小椋厚志 (明治大 理工)
資料名： 神奈川県産業技術センター研究報告  (Reports of Kanagawa Industrial Technology Center)
号： 16  ページ： 51-52  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： F0538B  ISSN： 1882-0026  CODEN： KGSKF7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 太陽電池用多結晶シリコン中の窒素について,その結合状態とミクロな分布の様子をフーリエ変換赤外分光法で調べた。特に,窒素析出物の分布状態を高い空間分解能で検出することに成功した。本手法は今後,多結晶シリコン中の軽元素の挙動と粒界等の結晶欠陥との関係を,ミクロスケールで解明する上で非常に有効な手段となることが期待される。(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリシリコン ,  *窒素 ,  太陽電池 ,  空間分解能 ,  格子欠陥 ,  FTIR分光法 ,  *析出 ,  光吸収 ,  元素 ,  不純物
準シソーラス用語： *多結晶シリコン ,  赤外吸収 ,  軽元素

分類 (2件)： 電子分光法  (BK01050P) ,  その他の無機化合物の格子欠陥  (BK12050B)

引用文献 (4件)：

• K. Arafune, T. Sasaki, F. Wakabayashi, Y. Terada, Y. Ohshita, and M. Yamaguchi; Physica B, 376-377, 236(2006).
• Q. Sun, K. H. Yao, H. C. Gatos, and J. Lagowski,; J. Appl. Phys.71, 3760(1992).
• F. F. Komarov, I. A. Rogalevich and V. S. Tishkov; Radiation Effects, 39, 163(1978).
• E. Theodossiu, H. Baumann, W. Mats, and A. Milcklich; phys. stat. sol.(a) 194, 47(2002).

タイトルに関連する用語 (5件)： キャスト ,  成長 ,  多結晶シリコン ,  窒素 ,  析出