抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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領域あたり6000パルスで,フルエンスが2.0と8.4mJcm
-2の間の,248nmのパルス化したKrFレーザからの直線偏光を,ポリエチレンテトラフタレート(PET)へ照射して,レーザ光の波長のオーダーの側方向周期と,数十nmの構造深さの,コヒーレントな,リップルパターンを作製した。レーザ光線の入射角の変化によって,構造の周期は制御できた。次に,スパッタリング法もしくは蒸着法で,レーザでパターン形成したPETの表面に薄い金層を析出した。得られた構造を,走査電子顕微鏡(FIB-SEM)と組み合わせて,原子間力顕微鏡(AFM)と集束イオンビームカットで分析した。蒸着法では,連続した金属皮膜が得られ,ナノ構造のポリマー表面がコピーされた。一方,スパッタリング琺では,レーザで誘発されたリップルの尾根に,孤立したナノ線が形成された。金のナノ線の幅は,析出過程の前に形成されたリップルの周期で調節できた。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.