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J-GLOBAL ID：201102287602943086   整理番号：11A0233774

物理的スパッタリングに対する広範な入射角依存性の公式

Extended incident-angle dependence formula for physical sputtering

著者 (6件)： ONO T ,  SHIBATA K ,  KENMOTSU T ,  MURAMOTO T ,  LI Z ,  KAWAMURA T
資料名： JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS
巻： 363  ページ： 1266-1271  発行年： 2007年 
JST資料番号： O3948A  ISSN： 0022-3115  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： 物理 ,  スパッタリング ,  入射角依存性