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J-GLOBAL ID：201102287776599210   整理番号：11A0436855

低真空アーク放電の陰極スポットトレイルにおける結晶組織

Grain structure in cathode spot trail of low vacuum arc discharge

著者 (4件)： SUGIMOTO M ,  MIRKARIMOV A ,  POZHAROV S ,  TAKEDA K
資料名： THIN SOLID FILMS
巻： 457  号： 1  ページ： 168-173  発行年： 2004年 
JST資料番号： O6387A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 真空アーク ,  放電 ,  陰極スポット ,  結晶組織