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J-GLOBAL ID：201102288693834795   整理番号：11A1050497

光学ニューロ刺激体のための縦型マイクロスケール導光二酸化シリコンチューブアレイ

A VERTICAL MICRO-SCALE LIGHT GUIDING SILICON DIOXIDE TUBE ARRAY FOR OPTICAL NEUROSTIMULATOR

著者 (6件)： SAKATA M. (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  GORYU A. (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  IKEDO A. (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  HARIMOTO T. (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  ISHIDA M. (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  KAWANO T. (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 24th Vol.2  ページ： 1015-1018  発行年： 2011年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文で,マイクロスケール直径の多点マイクロ光源デバイスのための導光プローブを紹介した。プローブアレイは,二酸化シリコンチューブアレイを用いたが,これは,VLS成長させたシリコンのマイクロワイヤテンプレートを用いて製作した。このチューブ状光プローブは,電気的測定とドラッグ送信の同時処理が出来る利点がある。チューブの設計には,有限差分法を用いて時間領域シミュレーション計算を行い,光の伝達状態を理解した。チューブの寸法は,内径3μm,高さ30μm,壁の厚さ0.5μmで,二酸化シリコンと水の反射率は,それぞれ,1.464,1.336である。製作では,シリコン基盤を酸化させて似酸化シリコンにし,光学ファイバーを載せられるように反応性イオンエッチングした。このチューブは,計算通りの光伝達容量を有することを確認した。

シソーラス用語： *光学 ,  *刺激 ,  透明材料 ,  *二酸化ケイ素 ,  円管群 ,  光源 ,  *プローブ ,  *VLS成長 ,  細線 ,  電気測定 ,  有限差分時間領域法 ,  細胞情報伝達 ,  反射率
準シソーラス用語： チューブアレイ ,  マイクロワイヤ ,  二酸化シリコン ,  光伝達 ,  時間領域有限差分法 ,  電気的測定 ,  導光体

分類 (1件)： 医療用機器装置  (GA05020L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学 ,  刺激 ,  縦型 ,  マイクロスケール ,  酸化シリコン ,  チューブアレイ