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J-GLOBAL ID：201102290018235283   整理番号：11A1594791

二重上部電極をもつ鉛-ジルコニウム酸塩-チタン酸塩音響エネルギー集積装置

Lead-Zirconate-Titanate Acoustic Energy Harvesters with Dual Top Electrodes

著者 (8件)： TOMIOKA Shungo (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  KIMURA Shu (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  TSUJIMOTO Kyohei (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  IIZUMI Satoshi (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  UCHIDA Yusuke (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  TOMII Kazuki (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  MATSUDA Tomohiro (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  NISHIOKA Yasushiro (Nihon Univ., Chiba, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 50  号： 9,Issue 3  ページ： 09ND16.1-09ND16.4  発行年： 2011年09月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,第一共鳴で振動する鉛-ジルコニウム酸塩-チタン酸塩(PZT)膜の表面上での電荷の異なる分極を利用するために二重上部電極をもつPZTマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)音響エネルギー集積装置の発電性能を紹介する。PZT音響エネルギー集積装置は,Al(0.1μm)/PZT(1μm)/Pt(0.1μm)/Ti(0.1μm)/SiO₂(1.5μm)から構成される直径2mmの膜をもち,膜の振動は音圧により励起された。上部Al電極はPZT膜の周辺表面および中央表面を独立に覆っている。4.92kHで100dB(0.01W/m²)の音圧レベルで,周辺エネルギー集積装置は5.28×10^-11Wの電力を生成し,中央エネルギー集積装置は4.25×10^-11Wの電力を生成した。このように,膜の中央部分での分極を用いることでエネルギー集積装置の総電力のほぼ80%を増大させることができる。膜の周辺部分だけが利用されるときは通常このことは考慮されなかった。翻訳著者抄録(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *ダイヤフラム ,  電極 ,  *MEMS ,  *振動エネルギー ,  圧電体 ,  アルミニウム ,  音圧 ,  分極 ,  音響エネルギー ,  *エネルギーハーベスタ
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  二重電極

分類 (4件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  エネルギー貯蔵  (LC02000F)

引用文献 (25件)：

• 1) Y. C. Shu and I. C. Lien: Smart Mater. Struct. 15 (2006) 1499.
• 2) S. P. Beeby, M. J. Tudor, and N. M. White: Meas. Sci. Technol. 17 (2006) R175.
• 3) S. Pnya: J. Electroceram. 19 (2007) 165.
• 4) H. A. Sodano, G. Park, and D. J. Inman: Strain 40 (2004) 49.
• 5) M. Encka, D. Vasic, F. Costa, G. Pouhn, and S. Tliba: J. Phys. IV 128 (2005) 187.

タイトルに関連する用語 (6件)： 上部電極 ,  鉛 ,  ジルコニウム酸塩 ,  チタン酸塩 ,  音響エネルギー ,  集積装置