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J-GLOBAL ID：201102290142816634   整理番号：11A0797550

ポリスチレン微小球の自己組織化配列とリソグラフィ技術を利用した半導体パターニング技術

著者 (3件)： 今井雄大 (北大 量集セ) ,  岡崎拓行 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 58th  ページ： ROMBUNNO.24A-KS-2  発行年： 2011年03月09日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ポリスチレン ,  ミクロスフェア ,  自己組織化 ,  三角格子 ,  基板 ,  ケイ素 ,  リン化インジウム ,  転写 ,  パターン形成 ,  *多孔質体 ,  *型
準シソーラス用語： 微小球 ,  *テンプレート【型】

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： ポリスチレン ,  微小球 ,  自己組織化 ,  リソグラフィ ,  パターニング