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J-GLOBAL ID：201102292613920294   整理番号：11A0377528

はしご形の電極を使用する広域のVHFプラズマの、産生:太陽電池のための狭い隙間によるVHFプラズマ産生

Production of VHF plasma with large area using a ladder shaped electrode - VHF plasma production with narrow gap for solar cells

著者 (5件)： KAWAI Y ,  TAKEUCHI T ,  MASHIMA H ,  YAMAUCHI Y ,  TAKATSUKA H
資料名： PLASMA PROCESSES AND POLYMERS
巻： 2  号： 9  ページ： 695-701  発行年： 2005年 
JST資料番号： O5462A  ISSN： 1612-8850  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： はしご ,  広域 ,  VHFプラズマ ,  太陽電池