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J-GLOBAL ID:201102294545354130   整理番号:11A1769686

化学的手法によるエポキシ樹脂薄膜の作製

Preparation of Epoxy Resin Thin Film by Electroless Deposition Method
著者 (7件):
資料名:
巻: 131  号: 11  ページ: 1843-1847 (J-STAGE)  発行年: 2011年 
JST資料番号: S0810A  ISSN: 0385-4221  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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エポキシ樹脂系塗料を電着塗装法により使用した場合,被塗布物のサイズが小さくり,ICやMEMSのサイズになると,電流密度の偏りから均一な成膜が困難になる。この問題を解決するため,エポキシ系水溶性樹脂に加えて硝酸イオンと還元剤を溶解させた反応液を使って化学的手法によりエポキシ樹脂薄膜を析出する方法を開発し,薄膜の評価を行った。その結果,FT-IRの測定から,エポキシ樹脂薄膜の無電解析出に成功した。また,FE-SEMの観察から平滑で緻密な薄膜が形成されていることが確認できた。ガラス基板,ガラス管に対して,成膜時間に比例してほぼ一定の成膜速度で,連続的に膜が成長することがわかった。さらに,半導体のモールド用のエポキシ樹脂と同等の絶縁性を持つ田エポキシ樹脂薄膜であることを確認できた。
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分類 (2件):
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自動車製造  ,  表面処理 
タイトルに関連する用語 (5件):
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