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J-GLOBAL ID：201102295289206132   整理番号：11A1029002

c軸配向ZnO薄膜の光学特性に及ぼすアニーリング過程の影響

Effect of annealing processes on optical properties of c-axis oriented ZnO films

著者 (5件)： XIE Xue-wu (Dep. of Physics, Univ. of Sci. and Technol. of China, Anhui, Hefei) ,  LIAO Yuan (Dep. of Physics, Univ. of Sci. and Technol. of China, Anhui, Hefei) ,  ZHANG Wu-tang (Dep. of Physics, Univ. of Sci. and Technol. of China, Anhui, Hefei) ,  YU Qing-xuan (Dep. of Physics, Univ. of Sci. and Technol. of China, Anhui, Hefei) ,  FU Zhu-xi (Dep. of Physics, Univ. of Sci. and Technol. of China, Anhui, Hefei)
資料名： Liangzi Dianzi Xuebao  (Liangzi Dianzi Xuebao)
巻： 27  号： 2  ページ： 221-226  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2419A  ISSN： 1007-5461  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ゾルゲル技術やスピンコーティング法を用いて石英ガラスウエハ上に酸化亜鉛膜を堆積した。X線回折で測定されc軸配向ZnO薄膜の構造は主に,ポストアニーリング温度で決定された。異なる温度でアニーリングされたZnO薄膜をUV-Vis二重ビーム分光光度計とPLスペクトル法で測定したところ,高い透過率と強い紫外放射ピークを示した。650°Cのアニーリング温度が高品質ZnO薄膜の最高条件であることが明らかになった。ゾルの熱重量分析(TGA)を実行し,非晶質から秩序状態までの温度が375°Cであり,結晶ZnO薄膜はゾル-ゲル法による高品質ZnO薄膜の堆積に役だつ。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： スピンコーティング ,  スペクトロスコピー ,  ゾル-ゲル法 ,  石英ガラス ,  分光光度計 ,  焼なまし ,  *光学的性質 ,  熱重量分析 ,  X線回折 ,  *半導体薄膜 ,  *酸化亜鉛 ,  優先配向 ,  透過率 ,  温度依存性
準シソーラス用語： アニーリング ,  アニーリング温度 ,  スペクトル法 ,  光学特性

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： c軸配向 ,  ZnO薄膜 ,  光学特性 ,  アニーリング ,  過程