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J-GLOBAL ID：201102296687913368   整理番号：11A0340792

LIGAプロセス-シンクロトロン放射描画法を用いた微細機械加工技術および工業用途

LIGA process - micromachining technique using synchrotron radiation lithography - and some industrial applications

著者 (1件)： HIRATA Y
資料名： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
巻： 208  ページ： 21-26  発行年： 2003年 
JST資料番号： O5033A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： LIGAプロセス ,  シンクロトロン放射 ,  描画 ,  微細 ,  機械加工 ,  工業 ,  用途