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J-GLOBAL ID：201102297511420353   整理番号：11A0955363

パーティクルセンサの小型化に関する研究

著者 (4件)： 磯崎瑛宏 (BEANS研 Gデバイスセ) ,  桑名健太 (BEANS研 Gデバイスセ) ,  SVEN Heisig (BEANS研 Gデバイスセ) ,  伊藤寿浩 (BEANS研 Gデバイスセ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2011  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J69  発行年： 2011年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： クリーンルームの消費電力低減のため,クリーン度の空間分布を計測しクリーン度に合わせて空調を制御することが提案されている。クリーン度の計測のために,小型で安価なパーティクルセンサが求められている。そこで我々は。散乱光のシミュレーションを行い,レーザとフォトダイオードが平行な構造を持つパーティクルセンサを提案した。さらにそのセンサに必要なマイクロサイズの逆テーパ構造作製プロセスを実現した。(著者抄録)

シソーラス用語： クリーンルーム ,  *清浄度 ,  *センサ ,  粒子 ,  *小型化 ,  散乱光 ,  シミュレーション ,  空間分布
準シソーラス用語： *パーティクルセンサ ,  空調制御

分類 (1件)： 空気浄化  (PC02060X)

タイトルに関連する用語 (1件)： 研究