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J-GLOBAL ID：201102297625190110   整理番号：11A1352997

高機能フィルム製造の動向 フィルムコンデンサ用真空巻取成膜装置〈EWE-060 ver1.3〉

著者 (5件)： 多田勲 (アルバック) ,  廣野貴啓 (アルバック) ,  林信博 (アルバック) ,  森本和幸 (アルバック) ,  下村誠 (アルバック)
資料名： プラスチックス  (Japan Plastics)
巻： 62  号： 2  ページ： 22-23  発行年： 2011年03月10日 
JST資料番号： F0254A  ISSN： 0555-7887  CODEN： PRSKAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ハイブリッドカー(HEV)の動力部電気回路に使われているフィルムコンデンサ製造装置の市場動向と技術動向を解説する。HEV用コンデンサは,2軸延伸ポリプロピレン(OPP)フィルムが使用されている。Al,Znなどを蒸着したフィルムを巻き回して,金属膜の対抗電極をパターニングし,フィルムを誘電体としてコンデンサを形成している。以前はパターニングをレーザ加工で行うこともあったが,生産性が良くなかった。アルバック社のEWEシリーズ真空巻取成膜装置はオイル塗布によるマスキングにより蒸着とパターニングの同時かつ高速実施を可能にした。さらに,蒸着中におけるパターン製作精度の確認はCCDカメラを用いて,オンラインでの検査を可能にした。コンデンサの小型・軽量化に対応するためOPPフィルムの薄膜化への取り組みが進行中である。2009~2010年には2.5μmまで薄膜化した。

シソーラス用語： ポリプロピレン ,  *薄膜コンデンサ ,  *プラスチックフィルム ,  *巻取装置 ,  *真空蒸着 ,  パターン形成 ,  CCDカメラ ,  監視 ,  ハイブリッド自動車 ,  軽量化
準シソーラス用語： オンライン監視 ,  *プラスチックフィルムコンデンサ

分類 (2件)： 表面処理  (YH04112X) ,  静電機器  (NB10020R)

タイトルに関連する用語 (6件)： フィルム製造 ,  動向 ,  フィルムコンデンサ ,  真空 ,  巻取 ,  成膜装置