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J-GLOBAL ID：201102299355321881   整理番号：11A0791192

クラスタイオン衝撃イオン化による飛行時間2次イオン質量分析法を用いる有機化合物の表面感応化学分析のための2次イオンの計数

Secondary ion counting for surface-sensitive chemical analysis of organic compounds using time-of-flight secondary ion mass spectroscopy with cluster ion impact ionization

著者 (6件)： HIRATA K. (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi ...) ,  SAITOH Y. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki Gumma 370-1292, JPN) ,  CHIBA A. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki Gumma 370-1292, JPN) ,  YAMADA K. (Takasaki Advanced Radiation Res. Inst. (TARRI), Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki Gumma 370-1292, JPN) ,  TAKAHASHI Y. (Advanced Sci. Res. Center, Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN) ,  NARUMI K. (Advanced Sci. Res. Center, Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Takasaki, Gumma 370-1292, JPN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 82  号： 3  ページ： 033101  発行年： 2011年03月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： クラスタイオン衝突イオン化によって誘導される 2次イオン(SIs)の比較的高い放射収率に基づく飛行時間(TOF) SI質量分析法を用いた有機化合物の表面感応化学分析にとって適切な SIの計数について報告する。TOF SI質量スペクトルを構成する全ての信号パルスをシステムにデジタル記録でき各種の解析を可能にする高速デジタル蓄積型オシロスコープを用いて,TOF SI質量分析計のための SI計数システムを開発した。他の異なる SI計数方法で記録された同じ信号から得られた TOF SI質量スペクトルと比較することによって,有機汚染したシリコンウェーハおよびポリ4フッ化エチレンターゲットへのC₈および C₆₀イオン衝撃について,SI質量スペクトルに対するこの SI計数方法の効果を調べた。著者らの結果は,高い SIの収率に耐える計数システムを用いることが,有機材料へのクラスタイオン衝突の場合も含めて,衝突あたり高いSI収率の条件下で得られるSI質量スペクトルの定量分析では必要なことを示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *クラスタイオン ,  *衝突イオン化 ,  *飛行時間法 ,  *二次イオン質量分析 ,  ケイ素 ,  半導体 ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  二次イオン放出 ,  *収率
準シソーラス用語： TOF-SIMS

分類 (1件)： 質量分析計  (BD02060M)

タイトルに関連する用語 (7件)： クラスタイオン ,  衝撃イオン化 ,  飛行時間2次イオン質量分析 ,  有機化合物 ,  化学分析 ,  2次イオン ,  計数