エキシマレーザ支援有機金属堆積法によるY<sub>2</sub>O<sub>3</sub>:Eu薄膜の作製

TSUCHIYA Tetsuo; WATANABE Akio; NAKAJIMA Tomohiko; KUMAGAI Toshiya

文献

J-GLOBAL ID：201102299737482192 整理番号：11A0154147

エキシマレーザ支援有機金属堆積法によるY₂O₃:Eu薄膜の作製

Preparation of Y₂O₃:Eu thin films by excimer-laser-assisted metal organic deposition

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=11A0154147&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=11A0154147&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0256C") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 101 号： 4 ページ： 681-684 発行年： 2010年12月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

ユウロピウムをドープした酸化イットリウム(Y₂O₃:Eu)は表示装置用の重要な蛍光体である。Y₂O₃:Eu薄膜は種々の方法で作製される。本研究では,ITO/ガラス基板上にエキシマレーザ支援有機金属堆積法により薄膜を低温で作製した。レーザ波長と温度が膜の結晶度と光ルミネセンス特性に及ぼす影響を調べた。ArFレーザでは400~500°CのITO基板上に発光する結晶膜が形成されたが,KrFレーザでは膜は形成されなかった。膜の結晶度は熱有機金属堆積法で作製した結晶度よりも遥かに高かった。また,612nmにおける光ルミネセンス強度は熱工程により作製したものよりも遥かに高かった。

, , , , , , , ,
, ,

薄膜成長技術・装置

, , , , , ,

前のページに戻る

エキシマレーザ支援有機金属堆積法によるY2O3:Eu薄膜の作製

エキシマレーザ支援有機金属堆積法によるY₂O₃:Eu薄膜の作製