ガラスフィルムの製造方法及びガラスフィルムの処理方法並びにガラスフィルム積層体

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-205158
公開番号（公開出願番号）：特開2011-184284
出願日： 2010年09月14日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：

【課題】ガラスフィルムに対してデバイス製造関連処理等を行う際の取り扱い性を向上させ、加熱を伴う処理後にガラスフィルムを各種デバイスに組み込む際等には、支持ガラスからガラスフィルムを容易に剥離させることを可能とし、且つ剥離後において粘着剤等がガラスフィルムに残存することを確実に防止できる、清浄なガラスフィルムの製造方法を提供する。【解決手段】支持ガラス3の表面に、成膜後の表面粗さRaが2.0nm以下となるように無機薄膜4を形成する第1の工程と、前記無機薄膜4の表面に、表面粗さRaが2.0nm以下のガラスフィルム2を接触させた状態で積層してガラスフィルム積層体1とする第2の工程と、前記ガラスフィルム積層体1に対して加熱を伴う処理を行う第3の工程と、前記加熱を伴う処理後に前記ガラスフィルム2を前記支持ガラス3から剥離する第4の工程とを有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

支持ガラスの表面に、成膜後の表面粗さRaが2.0nm以下となるように無機薄膜を形成する第1の工程と、前記無機薄膜の表面に、表面粗さRaが2.0nm以下のガラスフィルムを接触させた状態で積層してガラスフィルム積層体とする第2の工程と、前記ガラスフィルム積層体に対して加熱を伴う処理を行う第3の工程、前記加熱を伴う処理後に前記ガラスフィルムを前記支持ガラスから剥離する第4の工程とを有することを特徴とするガラスフィルムの製造方法。

IPC (5件)：

C03C 17/23 , C03B 32/00 , B32B 17/06 , G02F 1/133 , B32B 9/00

FI (5件)：

C03C17/23 , C03B32/00 , B32B17/06 , G02F1/1333 500 , B32B9/00 A

Fターム (42件)：

2H090HA08 , 2H090HB02X , 2H090HD03 , 2H090HD08 , 2H090JB02 , 2H090JC07 , 2H090JD11 , 2H090JD12 , 2H090JD15 , 2H090JD17 , 4F100AA01B , 4F100AA17B , 4F100AA33 , 4F100AB12 , 4F100AG00A , 4F100AG00C , 4F100BA03 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100DD07B , 4F100DD07C , 4F100EH66 , 4F100EJ423 , 4F100GB41 , 4F100JA02A , 4F100JA02C , 4F100JL05 , 4F100JL06 , 4F100JM02B , 4G015EA00 , 4G059AA01 , 4G059AC24 , 4G059EA01 , 4G059EA03 , 4G059EA04 , 4G059EA05 , 4G059EA07 , 4G059EB01 , 4G059EB03 , 4G059EB04 , 4G059EB07

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