特許

J-GLOBAL ID：201103000241869311

シート状モールド移送位置決め装置

発明者： 伊谷 慎也 ,  西原 浩巳 ,  馬場 丘人 ,  田代 貴晴 ,  大川 貴史 ,  北原 秀利
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (5件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-059125
公開番号（公開出願番号）：特開2011-189677
出願日： 2010年03月16日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：

【課題】被成型品をシート状モールドから引き剥がすために、平板状のシート状モールドを移送し位置決めするシート状モールド移送位置決め装置において、シート状モールドが弛んだり切れたりすることを防止する。【解決手段】シート状モールドMのモールド原反MBを設置するモールド原反設置装置9と、モールド原反設置装置9から繰り出している平板状のシート状モールドMAを巻き取るモールド巻き取り装置11と、引き剥がしをするときに平板状のシート状モールドの形態が変化しても、平板状のシート状モールドの張力を一定に維持する張力維持手段とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

微細な転写パターンが形成されているシート状モールドを平板状にして、この平板状のシート状モールドの微細な転写パターンを平板状の被成型品に転写しこの転写によって貼り付いている前記被成型品を前記平板状のシート状モールドから引き剥がすために、前記平板状のシート状モールドを所定の方向に移送して位置決めするシート状モールド移送位置決め装置において、 前記シート状モールドのモールド原反を設置するモールド原反設置装置と、 前記モールド原反設置装置から繰り出している平板状のシート状モールドを巻き取るモールド巻き取り装置と、 前記引き剥がしをするときに平板状のシート状モールドの形態が変化しても、前記平板状のシート状モールドの張力を一定に維持する張力維持手段と、 を有することを特徴とするシート状モールド移送位置決め装置。

IPC (3件)：

B29C 59/02 ,  B29C 33/36 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B29C59/02 B ,  B29C33/36 ,  H01L21/30 502D

Fターム (18件)：

4F202CC03 ,  4F202CC10 ,  4F202CD05 ,  4F202CK25 ,  4F202CL42 ,  4F209AD08 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ08 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PB02 ,  4F209PN06 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28