特許

J-GLOBAL ID：201103000357038620

真空発生用ユニット

発明者： 永井 茂和 ,  伊藤 吉治 ,  遠山 隆史
出願人/特許権者： SMC株式会社
代理人 (2件)： 千葉 剛宏 ,  佐藤 辰彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250643
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074000
特許番号：特許第3678950号
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 圧力流体供給源に接続される圧力流体供給ポート(36)、吸着手段に接続される真空ポート(62)および前記圧力流体供給ポート(36)から供給された圧力流体を外部に排気する排気ポート(38)が設けられた本体部(20)と、 前記圧力流体供給ポート(36)から供給された圧力流体の作用下に負圧を発生させるエゼクタ部(32)と、 前記本体部(20)に搭載される電磁弁部(26)および検出部(34)と、 を備え、 前記本体部(20)には、圧力流体供給用電磁弁(22)、真空破壊用電磁弁(24)、流量調整ねじ(114)、フィルタ(94)および真空圧力スイッチ(96)が順次直列に配設され、 前記圧力流体供給ポート(36)に連通し前記本体部(20)の軸線方向に沿って延在する通路(48)、前記真空ポート(62)に連通し前記本体部(20)の軸線方向に沿って延在する通路(64)、電磁弁用排気ポート(38)に連通し前記本体部(20)の軸線方向に沿って延在する通路(116)が、それぞれ、前記本体部(20)の軸線方向に沿った縦断面において略平行に配設され、 前記本体部(20)には、前記圧力流体供給用電磁弁(22)から供給されるパイロット圧の作用下にオフ状態からオン状態に切り換わる第1オン/オフ弁(42)と、前記真空破壊用電磁弁(24)から供給されるパイロット圧の作用下にオフ状態からオン状態に切り換わる第2オン/オフ弁(46)とが設けられ、 前記圧力流体供給ポート(36)に連通する前記通路(48)から分岐して前記圧力流体供給用電磁弁(22)に連通する通路(50)および前記真空破壊用電磁弁(24)に連通する通路(52)が形成され、さらに、前記通路(48)から分岐して前記第1オン/オフ弁(42)に連通する通路(54)および前記第2オン/オフ弁(46)に連通する通路(56)が形成され、前記通路(50、52、54、56)は、それぞれ、前記本体部(20)の軸線方向に沿った縦断面において、前記圧力流体供給ポート(36)に連通する通路(48)と直交する方向に延在して設けられることを特徴とする真空発生用ユニット。

IPC (1件)：

F04F 5/20

FI (1件)：

F04F 5/20 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-203299