特許

J-GLOBAL ID：201103000413374697

アライメント方法

発明者： 藤本 匡志
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 宮越 典明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114572
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306812
特許番号：特許第3303834号
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 1ショットのアライメントマークの位置を計測する毎に、これまでに行った全てのショットの計測結果を用いて、ショットの配列線形誤差および該配列線形誤差を除去した後の残留誤差を計算し、前記残留誤差があらかじめ定めたアライメント精度以下になった時点で、アライメントマークの位置計測を終了することを特徴とするアライメント方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 541 K