特許
J-GLOBAL ID：201103000426222055
フレ-ムの搬送切換機構並びにその切換方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-294000
公開番号（公開出願番号）：特開平3-155141
特許番号：特許第2538800号
出願日： 1989年11月14日
公開日（公表日）： 1991年07月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ボンディング作業がなされるボンディングステージ上にフレームを案内する案内手段と、該案内手段へのフレーム案内方向と平行な方向にフレームを搬送可能な搬送機構を少なくとも2以上並列して設けた搬送手段と、該搬送手段を搭載するベースと、該ベースと独立して前記フレームを保持するガイドを前記搬送機構のフレーム搬送面よりも高い位置と低い位置とに切換える切換手段とを備えたことを特徴とするフレームの搬送切換機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/50 D
, H01L 21/52 F
