ピンセット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船良男
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-079596
公開番号（公開出願番号）：特開平2-257651
出願日： 1989年03月29日
公開日（公表日）： 1990年10月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】先端の摘み部と、手前側の基部と、前記摘み部と前記基部との間に段差が形成されるように前記摘み部と前記基部とを繋ぐ繋ぎ部とをそれぞれ有する1対のレッグを備え、この一対のレッグの摘み部同士の間で半導体ウェーハを摘んでハンドリングするのに用いられるピンセットであって、2つの前記繋ぎ部のうちで手前側に位置する繋ぎ部の先端側の面の一部を前記半導体ウェーハの端部を突き当てるための半導体ウェーハ突当て部として構成すると共に、少なくとも前記摘み部および前記半導体ウェーハ突当て部の表層をチタンによって構成したことを特徴とするピンセット。

IPC (2件)：