特許
J-GLOBAL ID：201103000705864148
流量無停止多段式微少流量ラミナーフローメータ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
川井 治男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338980
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153699
特許番号：特許第3307900号
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 放射性物質の背圧パージ流量計として一定圧力に加圧した空気を液状物質の貯留槽に送入する流路において、測定流路の上流側に分岐部を設けて圧力導入管と複数の管内径の異なる管路を配置し、下流側に複数の管内径の異なる管路の内、最小の管内径の管路以外の管路にそれぞれ断続できる弁を設けて、弁の下流側に集合部を設けて圧力導入管を配置し、複数の管内径の異なる管路をそれぞれラミナー流路として構成し、2つの圧力導入管の間に差圧センサーを配置して、差圧を検出・表示してラミナー流路の流量を測定するラミナーフローメータであって、弁を断続する時にも流量が停止しないように構成した流量無停止多段式微少流量ラミナーフローメータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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