特許

J-GLOBAL ID：201103000739433804

圧電デバイス、および圧電デバイスの周波数調整方法

発明者： 川瀬 裕一 ,  茂木 俊昭
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-122289
公開番号（公開出願番号）：特開2011-250226
出願日： 2010年05月28日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：

【課題】基部から一対の振動腕が伸びた音叉型の圧電振動片を複数一体的に連結した圧電ウエハに対して音叉型の圧電振動片の周波数を目標周波数へ調整する周波数調整方法を提供する。【解決手段】 周波数調整方法は、振動腕の先端に形成された周波数調整部の少なくとも一部に第1金属(24)を形成する工程(S11)と、圧電ウエハ(200)に連結された音叉型の圧電振動片の周波数を測定する工程(S12)と、測定された音叉型の圧電振動片の周波数が目標周波数よりも低い場合には周波数調整部に形成された第1金属(24)を削り取り、測定された音叉型の圧電振動片の周波数が目標周波数よりも高い場合には音叉型の圧電振動片から離れて配置された第2金属(302)を昇華させて周波数調整部に付着させる周波数調整工程(S13-S15)と、を備える。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

基部から一対の振動腕が伸びた音叉型の圧電振動片を複数一体的に連結した圧電ウエハに対して前記音叉型の圧電振動片の周波数を目標周波数へ調整する周波数調整方法において、 前記振動腕の先端に形成された周波数調整部の少なくとも一部に第1金属を形成する工程と、 前記圧電ウエハに連結された前記音叉型の圧電振動片の周波数を測定する工程と、 測定された前記音叉型の圧電振動片の周波数が前記目標周波数よりも低い場合には、前記周波数調整部に形成された第1金属を削り取り、測定された前記音叉型の圧電振動片の周波数が前記目標周波数よりも高い場合には、前記音叉型の圧電振動片から離れて配置された第2金属を昇華させて前記周波数調整部に付着させる周波数調整工程と、 を備えた音叉型の圧電振動片の周波数調整方法。

IPC (5件)：

H03H 3/04 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (5件)：

H03H3/04 B ,  H03H9/19 L ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A

Fターム (11件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC09 ,  5J108HH04 ,  5J108HH06 ,  5J108KK06 ,  5J108NA03 ,  5J108NB03 ,  5J108NB05