特許
J-GLOBAL ID：201103000765345662
反射膜の特性測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-065490
公開番号（公開出願番号）：特開平2-245634
特許番号：特許第2712509号
出願日： 1989年03月17日
公開日（公表日）： 1990年10月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】レーザ光を発生するレーザ光源と、レーザ光を反射する反射鏡と、レーザ光を反射する被測定反射膜が形成され前記反射鏡とは所定の間隔で配置された被測定反射鏡と、前記レーザ光源の出力光を2分して前記反射膜と前記被測定反射膜とに入射し、これら反射膜からの反射光を合成して干渉パターンを得る干渉計と、この干渉計の干渉パターンを受けて前記反射膜と前記被測定反射膜で反射される2つの光の位相差を求めこの位相差から前記被測定反射膜における位相跳びを測定することができるように構成した位相差検出手段を具備したことを特徴とする反射膜の特性測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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