特許

J-GLOBAL ID：201103000777966158

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 伊藤 秀之 ,  佐藤 篤 ,  中西 太 ,  石戸谷 昌洋
出願人/特許権者： 太陽インキ製造株式会社 ,  日油株式会社
代理人 (1件)： ▲吉▼田 繁喜
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104901
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298344
特許番号：特許第4031593号
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(A)主鎖に下記一般式(1)で表わされる連結基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜100,000の重合体、及び(B)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 21/30 502 R