特許
J-GLOBAL ID:201103000939344806

フレーム押さえ装置並びにワイヤボンディング方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 塩川 修治
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-128300
公開番号(公開出願番号):特開2002-324818
特許番号:特許第4601201号
出願日: 2001年04月25日
公開日(公表日): 2002年11月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ペレット搭載部の列が複数設けられているフレーム部材を支持する支持ブロックと、 フレーム部材を支持ブロックに対して押さえ付けるフレーム押さえ部材を有するフレーム押さえ装置において、 フレーム押さえ部材がフレーム部材のペレット搭載部に対応して該ペレット搭載部を囲むように設けられた1つの窓部と、窓部に囲まれたペレット搭載部の被押さえ部に弾性を有して当接する押さえ部とを有し、 フレーム押さえ部材は、フレーム押さえ部材とフレーム部材との相対移動により、フレーム部材の列に沿う方向と列に直交する方向の両方で近接する全てのペレット搭載部の一部ずつを順に窓部で囲んで押さえ付ける作業を繰り返すことを特徴とするフレーム押さえ装置。
IPC (1件):
H01L 21/60 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/60 301 K
引用特許:
審査官引用 (2件)

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