特許
J-GLOBAL ID：201103001052970113
電子部品の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-233402
公開番号（公開出願番号）：特開平3-095471
出願日： 1989年09月08日
公開日（公表日）： 1991年04月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】複数の測定項目に従って複数の同一の電子部品の特性を測定する第1、第2の測定手段と、前記第1の測定手段の測定結果より、電子部品の各測定項目毎の測定結果の分布特性を求め、この分布特性が予め設定された基準値に対して十分な余裕があるか否かを判別する分布管理手段と、この分布管理手段の判別結果に基づいて、前記第2の測定手段において実行する複数の測定項目から基準値に対して十分な余裕がある測定項目を削除する制御手段と、を具備したことを特徴とする電子部品の検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26 G 9214-2G
, G01R 31/00 7324-2G
, H01L 21/66 Z 7630-4M
