特許
J-GLOBAL ID：201103001449337786
レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294863
特許番号：特許第4256519号
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 導波管から導波管壁に形成された複数の微小間隙を介してマイクロ波をレーザ管内に導入することにより前記レーザ管内のレーザガスを励起し、前記レーザガスから発する光を共振させてレーザ光を発生させるレーザ発振装置において、
前記微小間隙上から前記レーザ管壁までの間が所定距離離間されてマイクロ波の通路が形成され、前記微小間隙から前記レーザ管壁までの離間距離は前記導波管から導入されるマイクロ波の半波長の整数倍であり、前記微小間隙上を含む前記通路を囲むように導電体が設けられ、前記通路が前記レーザ管との接触部位で当該レーザ管の長手方向にわたる所定幅の空隙とされており、前記導波管内に誘電体が充填されていることを特徴とするレーザ発振装置。
IPC (5件)：
H01S 3/0973 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01S 3/09 ( 200 6.01)
, H01S 3/225 ( 200 6.01)
H01S 3/097 C
, G03F 7/20 502
, H01L 21/30 515 B
, H01S 3/09 Z
, H01S 3/223 E
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
