特許
J-GLOBAL ID:201103001488787357
X線平面検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
堀口 浩
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-393222
公開番号(公開出願番号):特開2001-249185
特許番号:特許第3696084号
出願日: 2000年12月25日
公開日(公表日): 2001年09月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】第1のガラス支持台と第2のガラス支持台を貼り合わせた基板と、入射したX線のX線量に対応する電荷を形成するX線変換系と、前記X線変換系で形成された電荷に基づいた画像データを出力するX線検出系とを備え、前記X線検出系を前記第1のガラス支持台上に形成した後で前記第1のガラス支持台と前記第2のガラス支持台をシリコン系接着剤を用いて貼り合わせ、さらに前記X線検出系上に前記X線変換系を蒸着処理により形成することを特徴とするX線平面検出装置。
IPC (3件):
G01T 1/20
, G01T 1/24
, H01L 27/14
FI (5件):
G01T 1/20 Z
, G01T 1/20 D
, G01T 1/24
, H01L 27/14 K
, H01L 27/14 D
引用特許:
審査官引用 (1件)
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撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-241562
出願人:キヤノン株式会社
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