特許

J-GLOBAL ID：201103001615592099

第1及び第2の物体の位置合せ方法及び装置

発明者： 石橋 頼幸 ,  平野 亮一
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-261568
公開番号（公開出願番号）：特開平3-123804
特許番号：特許第2885439号
出願日： 1989年10月06日
公開日（公表日）： 1991年05月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第11及び第12の領域が形成された第1の物体と、第21及び第22の領域が形成された第2の物体とを、それらの物体の対向方向に直交する方向に位置合せする方法であって、第11及び第21の領域は、これら2つの領域を移行した後に射出する光を2次元分布の回折光とするように少なくとも1つの回折格子を有し、第11及び第22の領域も、これら2つの領域を移行した後に射出する光を2次元分布の回折光とするように少なくとも1つの回折格子を有し、光源から周波数f1,f2(f1≠f2)の2つの光ビームを発射する工程と、これら2つの光ビームを第11及び第12の領域又は第21及び第22の領域に移行させ、その結果、これらの2つの光ビームを、第11及び第21の領域で回折させ干渉させて、2次元分布する第1の回折干渉光IMに変化させて射出すると同時に、第12及び第22の領域でも回折させ干渉させて、2次元分布する第2の回折干渉光IWに変化させて射出する工程と、第1の回折干渉光IMのうち特定次数の光を検出して、第1の物体の位置ずれに対応する位相ずれxMを有し周波数Δf=|f1-f2|の第1のビート信号に変換する一方、第2の回折干渉光IWのうち特定次数の光を検出して、第2の物体の位置ずれに対応する位相ずれxWを有し周波数Δfの第2のビート信号に変換する工程と、第1及び第2のビート信号の位相差を計算し、即ち、|xM-xW|を計算して、第1及び第2の物体の位置ずれを検出する演算工程と、この位置ずれに対応して第1及び第2の物体の相対位置を調整して、第1及び第2の物体を位置合せする工程と、を具備する、第1及び第2の物体の位置合せ方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 506 E ,  H01L 21/30 510