レーザ同位体分離における反応装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：蛭川昌信 (外6名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-207127
公開番号（公開出願番号）：特開平3-072919
出願日： 1989年08月10日
公開日（公表日）： 1991年03月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空チャンバのガス流と交差する方向に真空チャンバを介在して対向配置され、真空チャンバに対してそれぞれ開口するとともに、光導入窓、光出射窓をそれぞれ有する一対の熱交換器を備え、キャリアガスにより真空チャンバ内に供給された反応物質に対して前記光導入窓、光出射窓を通してレーザ光を照射して反応を生じさせ、同位体分離を行う装置であって、前記光導入窓と対向して集光器を配置するとともに、不活性ガス供給手段を設け、光導入窓、光出射窓における光強度は弱く、真空チャンバの反応領域での光強度を強くするようにレーザ光を集光するとともに、前記熱交換器内へ不活性ガスを導入するようにしたことを特徴とするレーザ同位体分離における反応装置。

IPC (1件)：