静圧流体軸受

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-178981
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012469
特許番号：特許第3659308号
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1ガイド面を有する第1部材と、前記第1ガイド面に対し隙間を設けて対向する第2ガイド面を有する第2部材とから成り、前記第1ガイド面又は第2ガイド面は、前記隙間に圧縮流体を噴出して静圧流体層を形成する給気孔と、該給気孔の周囲に形成され、前記圧縮流体を回収する二重の排気溝を備えており、かつ少なくとも内側に位置する排気溝の内壁が、前記第1ガイド面又は第2ガイド面に対し外側に40度〜65度傾斜していることを特徴とする静圧流体軸受。

IPC (1件)：