特許

J-GLOBAL ID：201103001792122140

窒化アルミニウム基焼結体とその製造方法及びそれを用いたサセプター

発明者： 北川 高郎 ,  大塚 剛史 ,  稲妻地 浩 ,  吉岡 良樹 ,  石塚 雅之
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (9件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  松冨 豊 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦 ,  大場 充
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132004
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327424
特許番号：特許第3756345号
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 炭化珪素を0.1〜20重量%含有し、残部を窒化アルミニウム及び不可避不純物とした組成からなり、 平均結晶粒径が20μm以下であり、かつ、CIE 1976明度L*が30以下であることを特徴とする窒化アルミニウム基焼結体。

IPC (3件)：

C04B 35/581 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  C04B 35/626 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C04B 35/58 104 K ,  H01L 21/205 ,  C04B 35/58 104 U ,  C04B 35/58 104 R ,  C04B 35/58 104 Y